本文標(biāo)題："離子顯微分析器采用極高的靈敏度和空間分辨率"

發(fā)布者：YIYI ------ 分類: 站內(nèi)動(dòng)態(tài) ------ 人瀏覽過(guò) -----時(shí)間：2015-10-19 10:10:21

離子顯微分析器采用極高的靈敏度和空間分辨率

    微電子器件的檢測(cè)往往要求極高的靈敏度和空間分辨率。不
論用火花源質(zhì)誘儀，還是用電子微探針分析器都可同時(shí)達(dá)到這兩
方面的要求。此外，若采用離子顯微分析器，可以火花源質(zhì)譜儀在
靈敏度方面提高二個(gè)數(shù)量級(jí)。在分析面積方面，它比電子微探針分
析器稍大一些。在深度方面，比火花源質(zhì)譜儀或電子微探針分析
器都要小得多。因此，離子顯微分析器在所謂“重量檢測(cè)”靈敏度方
面，比火花源質(zhì)譜儀或電子微探針分析器都要大4到5個(gè)數(shù)量級(jí)。
    基本原理 離子微探針質(zhì)譜儀是一種微分析儀，它產(chǎn)生一束加速
單能離子束(通常是氧或氬離子)，用以腐蝕或電離試樣表層。

后一篇文章：離子用質(zhì)譜儀在不同工作模式中進(jìn)行分析 »
前一篇文章：« 特定X射線的強(qiáng)度與試樣元素含量以及從純?cè)貦z測(cè)

tags:成像儀器,數(shù)碼顯微鏡,實(shí)驗(yàn),光學(xué),光學(xué)顯微鏡,科學(xué),科技,試驗(yàn),生物顯微鏡,精密儀器,

離子顯微分析器采用極高的靈敏度和空間分辨率,熒光顯微鏡現(xiàn)貨供應(yīng)

本頁(yè)地址：http://www.lijiangshunyang.com/wz/2190.html轉(zhuǎn)載注明
本站地址：http://www.lijiangshunyang.com/
http://www.xianweijing.org/