本文標題："特定X射線的強度與試樣元素含量以及從純元素檢測"
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特定X射線的強度與試樣元素含量以及從純元素檢測
與X射線熒光分析二次激發熒光相反，電子微探針分析器是
利用電子轟擊直接激發。在直接轟擊中，如果轟擊電子有足夠能
址，以激發某一元素A的特定X射線的話，那么，在樣品區域被激
發元素A的原子數與該區域元素A的原子數成正比。
在特定束流條件下，作為一次近似而言，被激發體積與其平均
密度的乘積包括同一質量或原子數量，但與其成份無關。這種情
況的產生，是由于電子的阻滯作用(與電子密度有關)和電子反向
散射之間具有相反的效應，并有互相抵消的趨勢所造成，
利用儀器的穩定工作狀態可知，特定X射線的強度與試樣元
素含量以及從純元素取得的信號成正比。電子微探針分析比用X
射線熒光分析或光學輻射光譜分析所取得的信號強度與材料濃度
之間具有更好的線性關系。偏離線性的大小可以從理論上計算，
從而提高精度的數量級。通過大量工作，產生了若干用以獲得較
好數據的計算機方法，這些數據是由吸收和熒光校正而取得。
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