本文標題："電子顯微鏡電子和樣品的相互作用會導致什么結果"
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電子顯微鏡電子和樣品的相互作用會導致什么結果
將電子加速到2-30千伏形成電子束，然后用一系列磁透鏡
和限制光闌使電子束在樣品上聚焦到100埃大小的光點。電子束
在偏轉線或偏轉板所控制的區域進行掃描。
電子和樣品的相互作用導致:(1)反向散射電子，這種電子由
樣品表而散射而來，其能量和入射電子束差不多;(2)由樣品表面
發射二次電子;(3)傳導或吸收電子，這些電子進入樣品的大面積
上，并由電連接導入地面而消去。這種相互作用使掃描電子顯微
鏡以某些方式取得圖像。由于所選檢測型式不同，取得有意義信
息的樣品深度也不一樣。
發射模式 高能反向散射電子產生表面起伏圖形的信息和平
均原子數的某些有限數據，這是因為散射效率是隨原子數而增高
的。二次電子(由樣品發射的低能電子)受表面起伏圖形的影響較
小。圖4-10中陰影部分即為這兩種的方式。若改變樣品對于入
射電子束和檢測器之間的方向，則所獲圖像可這樣解釋:電子束和
檢測器的方向似乎就是光源和觀察者對于物體的方向。
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