本文標題："用顯微鏡觀察多數情況下計算表面污染物的數量"

發布者：YIYI ------ 分類: 站內動態 ------ 人瀏覽過 -----時間：2015-10-3 14:32:6

用顯微鏡觀察多數情況下計算表面污染物的數量

    在多數情況下污染雜質必須用數量表示。使用術語對一定的
問題是有意義的。雜質一般都是以上述材料的濃度來表示。例如百
分比，多數是百萬分比(ppm)，有時也用十億分比(ppb)。這種表
示法對原材料雜質的均勻分布是適用的。雜質范圍己有規定的原
材料的檢測，采用這種表示式也是可以的，用ppm表示濃度，也
就是說多數材料的雜質是均勻分布的。在顯微鏡下通常就不是這
樣，這種變化在微電子學中非常重要。
    能否測表面污染，并計算表面污染物的數量，這是涉及微電
子學檢驗化學的重要問題。所謂“百萬分之一”必須包括材料體積
的計算而且考慮所測雜質和體積的關系。不能用它代表表面濃
度。圖8-la表示材料表面的雜質能形成均勻薄膜，或呈現出單個
粒子，或形成介乎兩者之間的某物，即在表面局部出現的液體微
滴，表面污染物的更好表示方式可用單位面積的重，例如微克/
厘米。污染形式還有其它尺寸間題，例如粒子大小、個數和層厚
等的表示法。
    粒子往往被認為是表面污染物的點源。這種點源在微電子學
中有很大影響，然而，器件的性能并不取決于污染物的總平均濃
度。即使用顯微鏡觀察，粒子對有源染成電路的部分區域有影響，
似乎在那個區域這種元素出現了100%的濃度，實際也的確如此。
從分析的觀點來看，如果用儀器在襯底上分析1微米粒子，它只
能分解100微米x 100微米面積，10微米深，襯底材料出現
10 ppm粒子(圖3-1b)。用儀器檢測，在1微米3休積中，粒子是該
成分的100%。所以，空間分辨率是分析污染物極其重要的手段。

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