本文標題："數據儀器檢測污染對金屬封裝晶體管內氣體環境影響"
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數據儀器檢測污染對金屬封裝晶體管內氣體環境影響
儀器的基底一般是由水蒸氣,軾.氮、二氧化碳和共同的氣體
所組成，這就必然換害儀器的靈敏度。含氧大于10%的試樣通過
氧化作用擊穿探測器，使水燕氣優先吸附在質講儀的內壁，因而在
系統內產生了持久的基底壓力。
應用實例氣體質譜儀首先用于金屬封裝晶體管內氣體環境
特性的分析。金屬封裝容認小(通常在1 IAA米a下)，只有少址氣體
能作分析。以器件為試樣，放在有針孔眼的真空夾具內，在真空下
打開器件，然后將來自密封裝TL的氣休向試樣室擴大。在不同期
間，器件障礙與過多的氫、碳x化合物以及水蒸氣都有關系，有時
出現不明顯的雜質，例如有機殘渣或沒有完全清洗的電鍍零件。如
果氣體本身污染了，或者是品體管內其它污源間接引起了污染，則
必須連同其它已知數據檢測氣體的污染。
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