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測量表面光潔度范圍

10-14

工作物鏡的數值孔徑

0.65

工作距離

0.5mm

儀器的視場

目視：φ0.25mm

照相：0.21* 0.15mm

測微目鏡放大倍數

目視：500X

照相：168X

測微目鏡放大倍數

12.5X

測微鼓分劃值

0.01mm

綠色干涉濾色片波長

λ≈5300Å

半寬度

Δλ≈100Å

工作臺升程

5mm

X、Y方向移動范圍

≈10mm

旋轉運動范圍

360˚

儀器標準鏡高反射率

≈60%

低反射率

≈4%

可調變壓器輸入電壓

220V

輸出電壓

4V-6V

儀器外形尺寸

270*160*230mm

儀器重量

5公斤